化学放大型正型光刻胶组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480006521.2

申请日：

2004-03-11

公开(公告)号：

CN100549829C

公开(公告)日：

2006-04-12

发明(设计)人：

新堀博

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

H01L2130

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

陈平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-06-07	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-04-12	公开	公开
2009-10-14	授权	授权

共 50 条

[1]

化学放大型光刻胶组合物 [P].

花元幸夫 ;

桑名耕治 ;

山本敏 .

中国专利 :CN1550894B ,2004-12-01

[2]

化学放大型光刻胶组合物 [P].

山本敏 ;

花元幸夫 ;

桑名耕治 .

中国专利 :CN1755523B ,2006-04-05

[3]

化学放大型正光刻胶组合物 [P].

上谷保则 ;

山田爱理 ;

宫芳子 ;

高田佳幸 .

中国专利 :CN1210623C ,2001-10-10

[4]

化学放大型正光刻胶组合物 [P].

上谷保则 ;

金晟贤 .

中国专利 :CN1299079A ,2001-06-13

[5]

化学放大型正光刻胶组合物 [P].

上谷保则 ;

藤岛浩晃 ;

高田佳幸 .

中国专利 :CN1311459A ,2001-09-05

[6]

化学放大型正光刻胶组合物 [P].

上谷保则 ;

金晟贤 ;

高田佳幸 .

中国专利 :CN1312488A ,2001-09-12

[7]

化学放大型正光刻胶组合物 [P].

武元一树 ;

桥本和彦 ;

山口训史 .

中国专利 :CN1645254A ,2005-07-27

[8]

化学放大型正光刻胶组合物 [P].

上谷保则 ;

大桥贤治 ;

森马洋 .

中国专利 :CN1210624C ,2002-06-19

[9]

化学放大型正性光刻胶组合物 [P].

中西润次 ;

难波克彦 .

中国专利 :CN1258121C ,2003-04-23

[10]

化学放大型正光刻胶组合物 [P].

上谷保则 ;

井上博贵 .

中国专利 :CN1261171A ,2000-07-26

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