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QPQ辉光离子氮化炉装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821608164.2
申请日：
2018-09-30
公开(公告)号：
CN209144237U
公开(公告)日：
2019-07-23
发明(设计)人：
邓虹
刘芳洲
刘楠
申请人：
申请人地址：
300400 天津市北辰区宜兴埠镇华盛道南侧（格林豪泰酒店旁）
IPC主分类号：
C23C836
IPC分类号：
代理机构：
天津协众信创知识产权代理事务所(普通合伙) 12230
代理人：
王力强
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-20 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 8/36 申请日:20180930 授权公告日:20190723 终止日期:20210930 |
| 2019-07-23 | 授权 | 授权 |