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灰度光刻的光强矫正方法、装置、设备及存储介质
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010992050.8
申请日：
2020-09-21
公开(公告)号：
CN114253079A
公开(公告)日：
2022-03-29
发明(设计)人：
任常旭
伍未名
刘风雷
申请人：
申请人地址：
318000 浙江省台州市椒江区星星电子产业区A5号（洪家后高桥村）
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
G06T750
G06T770
G06T790
代理机构：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463
代理人：
张洋
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20200921 |
| 2022-03-29 | 公开 | 公开 |