一种晶圆盘旋转平移装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202023224080.9

申请日：

2020-12-28

公开(公告)号：

CN214357225U

公开(公告)日：

2021-10-08

发明(设计)人：

林宜龙刘飞黄水清唐若芹官声文张萍萍张勇黄理声

申请人：

申请人地址：

518118 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区翠景路33号格兰达装备产业园二期厂房一层至三层

IPC主分类号：

B65C902

IPC分类号：

B65C904 B65C940

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

颜希文;管莹

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于晶圆盘的旋转平移装置 [P].

谢亮春 .

中国专利 :CN217496806U ,2022-09-27

[2]

一种晶圆盘字符识别装置 [P].

林宜龙 ;

刘飞 ;

黄水清 ;

唐若芹 ;

官声文 ;

张萍萍 ;

张勇 ;

黄理声 .

中国专利 :CN213987542U ,2021-08-17

[3]

圆盘旋转装置 [P].

王清泉 ;

任锦涛 ;

蒋春成 .

中国专利 :CN221400518U ,2024-07-23

[4]

一种大型圆盘旋转装置 [P].

李宋 ;

康磊 ;

董峰 .

中国专利 :CN203940185U ,2014-11-12

[5]

一种石墨圆盘旋转装置 [P].

武永亮 ;

张富 ;

纪永成 .

中国专利 :CN205668770U ,2016-11-02

[6]

圆盘旋转拖把 [P].

徐百林 ;

周洁 ;

罗国富 .

中国专利 :CN201453178U ,2010-05-12

[7]

一种四孔圆盘旋转传送装置 [P].

廖仁华 ;

姜勇 .

中国专利 :CN208585696U ,2019-03-08

[8]

一种圆盘旋转切粒装置 [P].

孙上伟 .

中国专利 :CN216359699U ,2022-04-22

[9]

一种导轨机床圆盘旋转装置 [P].

郁文松 .

中国专利 :CN222449231U ,2025-02-11

[10]

一种圆盘旋转试验装置 [P].

张传庆 ;

刘小岩 ;

高阳 ;

周辉 ;

郭宇航 ;

卢景景 .

中国专利 :CN212059672U ,2020-12-01

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