单晶硅拉晶控制方法及装置、单晶硅拉晶炉

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申请号
CN202210749785.7
申请日
2022-06-28
公开(公告)号
CN115044967A
公开(公告)日
2022-09-13
发明(设计)人
毛勤虎
申请人
申请人地址
710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
IPC主分类号
C30B1520
IPC分类号
C30B1522
代理机构
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人
张博
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
单晶硅拉晶控制方法及装置、单晶硅拉晶炉 [P]. 
毛勤虎 .
中国专利 :CN115044967B ,2024-03-22
[2]
单晶硅拉晶方法、单晶炉及晶棒 [P]. 
李亮 ;
马玉花 ;
袁新生 .
中国专利 :CN118792732A ,2024-10-18
[3]
单晶体直径控制方法及装置、单晶硅拉晶炉 [P]. 
毛勤虎 .
中国专利 :CN114990688B ,2024-01-26
[4]
单晶体直径控制方法及装置、单晶硅拉晶炉 [P]. 
毛勤虎 .
中国专利 :CN114990688A ,2022-09-02
[5]
单晶硅棒拉晶装置及单晶炉 [P]. 
张先琴 ;
徐耀 ;
乔乐 .
中国专利 :CN223386283U ,2025-09-26
[6]
拉晶炉、单晶硅锭的制备方法、单晶硅锭及硅片 [P]. 
张婉婉 ;
文英熙 ;
柳清超 .
中国专利 :CN110129884A ,2019-08-16
[7]
单晶硅引细晶方法、单晶硅细晶结构及单晶硅 [P]. 
罗楷峰 ;
徐耀 ;
乔乐 ;
付明全 ;
徐志群 .
中国专利 :CN118996609A ,2024-11-22
[8]
单晶硅拉晶方法和晶棒 [P]. 
张彬彬 .
中国专利 :CN118996603A ,2024-11-22
[9]
单晶硅拉晶组合装置 [P]. 
黄鑫 .
中国专利 :CN212128336U ,2020-12-11
[10]
拉晶控制方法、系统及单晶硅棒 [P]. 
宽向斌 ;
高灵宝 ;
蒋一鑫 ;
赵晓东 ;
张世超 .
中国专利 :CN120797178A ,2025-10-17