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一种双面纳米压印设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111316485.1
申请日：
2021-11-09
公开(公告)号：
CN113985698A
公开(公告)日：
2022-01-28
发明(设计)人：
冀然
申请人：
申请人地址：
266000 山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房
IPC主分类号：
G03F700
IPC分类号：
代理机构：
山东重诺律师事务所 37228
代理人：
王鹏里
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/00 申请日:20211109 |
| 2022-01-28 | 公开 | 公开 |