一种气体压强传感器及其制备方法和气体压强检测方法

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申请号
CN202210289722.8
申请日
2022-03-23
公开(公告)号
CN114646419A
公开(公告)日
2022-06-21
发明(设计)人
佘峻聪 谢海涛 邓少芝 许宁生 陈军
申请人
申请人地址
510275 广东省广州市海珠区新港西路135号
IPC主分类号
G01L902
IPC分类号
G03F720
代理机构
广州粤高专利商标代理有限公司 44102
代理人
牛念
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
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[7]
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[9]
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[10]
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