亚微米光刻物镜的调整固定结构

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专利类型
实用新型
申请号
CN00222706.1
申请日
2000-04-05
公开(公告)号
CN2420656Y
公开(公告)日
2001-02-21
发明(设计)人
陈旭南 姚汉民 魏全忠
申请人
申请人地址
610209四川省双流350信箱
IPC主分类号
G02B702
IPC分类号
代理机构
中国科学院成都专利事务所
代理人
张一红;孙媛璞
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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