多晶硅生产中氯硅烷的分离方法以及分离装置

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专利类型
发明
申请号
CN202110687508.3
申请日
2021-06-21
公开(公告)号
CN113247908A
公开(公告)日
2021-08-13
发明(设计)人
刘铁勇 唐红萍
申请人
申请人地址
100095 北京市海淀区地锦路7号院8号楼
IPC主分类号
C01B33107
IPC分类号
代理机构
北京唐颂永信知识产权代理有限公司 11755
代理人
刘伟;任玮静
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统 [P]. 
刘华鹏 ;
翟占利 ;
樊晶 .
中国专利 :CN216687513U ,2022-06-07
[2]
还原生产多晶硅回收的氯硅烷的处理方法和装置、多晶硅生产中的氯硅烷的处理方法和系统 [P]. 
陈莉娜 ;
宋高杰 ;
张旭 ;
江庆云 ;
其他发明人请求不公开姓名 .
中国专利 :CN105366681B ,2016-03-02
[3]
一种多晶硅生产中的低沸氯硅烷的分离系统 [P]. 
周玲英 ;
孙荣义 ;
宋玲玲 ;
崔亚伦 ;
苏明 .
中国专利 :CN106554020A ,2017-04-05
[4]
多晶硅生产中氯硅烷脱碳工艺 [P]. 
杨昊 ;
何瑞 ;
薛山 ;
金广宇 .
中国专利 :CN117550612A ,2024-02-13
[5]
多晶硅生产中含氯硅烷废气、废液的燃烧处理工艺 [P]. 
姜静 ;
刘毅 ;
唐明元 ;
王绍祖 ;
魏彬 ;
屈杰 .
中国专利 :CN101968226A ,2011-02-09
[6]
多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理装置 [P]. 
杨晓凯 ;
叶杰 ;
王翔 ;
何向阳 .
中国专利 :CN202379747U ,2012-08-15
[7]
多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的方法 [P]. 
戴自忠 ;
易忠海 .
中国专利 :CN101417802A ,2009-04-29
[8]
多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的装置 [P]. 
戴自忠 ;
易忠海 .
中国专利 :CN201305651Y ,2009-09-09
[9]
一种多晶硅生产中聚氯硅烷处理装置 [P]. 
李斌 ;
罗周 ;
向春林 ;
宋垒 .
中国专利 :CN110627071B ,2019-12-31
[10]
多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理方法及装置 [P]. 
杨晓凯 ;
叶杰 ;
王翔 ;
何向阳 .
中国专利 :CN102515183A ,2012-06-27