蒸镀装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201621061913.5
申请日
2016-09-18
公开(公告)号
CN206069992U
公开(公告)日
2017-04-05
发明(设计)人
孙亮
申请人
申请人地址
100176 北京市大兴区亦庄凉水河一街悦廷1-4-401
IPC主分类号
C23C1426
IPC分类号
代理机构
北京律远专利代理事务所(普通合伙) 11574
代理人
丁清鹏
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
引用
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共 50 条
[1]
蒸镀装置及方法 [P]. 
孙亮 .
中国专利 :CN106567043B ,2017-04-19
[2]
蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P]. 
李发顺 .
中国专利 :CN108754428A ,2018-11-06
[3]
蒸镀源及蒸镀装置 [P]. 
马昆松 ;
梁作 ;
任虎鸣 .
中国专利 :CN221566290U ,2024-08-20
[4]
蒸镀源及蒸镀装置 [P]. 
邓博为 .
中国专利 :CN220468111U ,2024-02-09
[5]
蒸镀源及蒸镀装置 [P]. 
沈文涛 ;
高超飞 ;
葛晶涛 ;
刘旭亮 ;
张明照 .
中国专利 :CN209722279U ,2019-12-03
[6]
蒸镀单元及蒸镀装置 [P]. 
李灏 ;
罗志忠 .
中国专利 :CN209722278U ,2019-12-03
[7]
蒸镀装置 [P]. 
小泽雅基 ;
住谷利治 ;
相泽雄树 .
中国专利 :CN208733207U ,2019-04-12
[8]
蒸镀装置 [P]. 
星野孝雄 .
中国专利 :CN209456549U ,2019-10-01
[9]
蒸镀装置 [P]. 
笔山弘章 .
中国专利 :CN208701189U ,2019-04-05
[10]
蒸镀装置 [P]. 
黄航 .
中国专利 :CN209702839U ,2019-11-29