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一种强弱电分离式原子层沉积系统的机柜
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020768046.9
申请日：
2020-05-11
公开(公告)号：
CN211929960U
公开(公告)日：
2020-11-13
发明(设计)人：
不公告发明人
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道228号天安智慧城3-104
IPC主分类号：
H02B130
IPC分类号：
H02B132
代理机构：
无锡市才标专利代理事务所(普通合伙) 32323
代理人：
张迎召
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-11-13 | 授权 | 授权 |