静电吸盘

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180018371.7

申请日：

2011-07-26

公开(公告)号：

CN102834913B

公开(公告)日：

2012-12-19

发明(设计)人：

小野浩司

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

蒋亭

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-12-19	公开	公开
2013-06-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101473322100 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2011800183717 申请日:20110726
2016-01-06	授权	授权

共 50 条

[1]

静电吸盘 [P].

张巨先 .

中国专利 :CN215815827U ,2022-02-11

[2]

静电吸盘 [P].

糸山哲朗 ;

上藤淳平 .

中国专利 :CN111668149A ,2020-09-15

[3]

静电吸盘 [P].

佐佐木雄基 ;

白石纯 ;

籾山大 ;

板仓郁夫 ;

佐佐木均 .

日本专利 :CN120376490A ,2025-07-25

[4]

静电吸盘 [P].

佐佐木均 ;

籾山大 .

日本专利 :CN111725120B ,2024-02-13

[5]

静电吸盘 [P].

糸井骏 ;

高桥直也 .

中国专利 :CN108735647A ,2018-11-02

[6]

静电吸盘 [P].

佐佐木均 ;

籾山大 .

中国专利 :CN111725121A ,2020-09-29

[7]

静电吸盘 [P].

穴田和辉 ;

吉井雄一 .

中国专利 :CN105074901A ,2015-11-18

[8]

静电吸盘 [P].

平山昌树 ;

板垣哲朗 .

中国专利 :CN115605989A ,2023-01-13

[9]

静电吸盘 [P].

富冈武敏 .

日本专利 :CN119731777A ,2025-03-28

[10]

静电吸盘 [P].

陈肇斌 ;

吴禹函 ;

陈正豪 ;

花士豪 .

中国专利 :CN118782526A ,2024-10-15

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