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毛细管输送装置、毛细管安装装置、毛细管更换装置、毛细管输送方法、毛细管安装方法以及毛细管更换方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201680023498.0
申请日：
2016-10-06
公开(公告)号：
CN107533989A
公开(公告)日：
2018-01-02
发明(设计)人：
竹本刚
申请人：
申请人地址：
日本国东京都
IPC主分类号：
H01L2160
IPC分类号：
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
刘文海
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-01-02 | 公开 | 公开 |
| 2020-02-28 | 授权 | 授权 |
| 2018-01-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/60 申请日:20161006 |