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分立式微波激励器和等离子光源装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022975097.1
申请日：
2020-12-07
公开(公告)号：
CN213366529U
公开(公告)日：
2021-06-04
发明(设计)人：
何梁
何磊
乔乾
潘虹
申请人：
申请人地址：
610000 四川省成都市天府大道南段2039号天府创客街区
IPC主分类号：
H01J6504
IPC分类号：
代理机构：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463
代理人：
董艳芳
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-04 | 授权 | 授权 |