一种用于超薄玻璃基板减薄工艺的载具

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专利类型
实用新型
申请号
CN202120549675.7
申请日
2021-03-17
公开(公告)号
CN214781508U
公开(公告)日
2021-11-19
发明(设计)人
周晧煜 蒋承忠 吴天鸣 黄俊杰 危伟 余新胜 花勇 肖帅 陈风
申请人
申请人地址
314100 浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道晋阳东路568号9号楼1103室
IPC主分类号
C03C1500
IPC分类号
代理机构
浙江永航联科专利代理有限公司 33304
代理人
林文豪
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具及蚀刻设备 [P]. 
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[2]
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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黄泽魁 ;
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[10]
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