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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-06-05 | 授权 | 授权 |
| 2020-03-24 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B24B 19/00 变更事项:专利权人 变更前:上海合晶硅材料有限公司 变更后:上海合晶硅材料股份有限公司 变更事项:地址 变更前:201617 上海市松江区贵南路500号 变更后:201617 上海市松江区石湖荡镇长塔路558号 |
| 2022-11-25 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):B24B 19/00 申请日:20121107 授权公告日:20130605 |