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使用带电粒子显微镜检查样品的方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202010362677.5
申请日
:
2020-04-30
公开(公告)号
:
CN111896572A
公开(公告)日
:
2020-11-06
发明(设计)人
:
J.克卢萨切克
T.图玛
J.佩特热克
申请人
:
申请人地址
:
美国俄勒冈州
IPC主分类号
:
G01N232251
IPC分类号
:
G01N232252
G01N232254
G01N232255
G01N232257
G01N232206
G01N2320091
G01N23205
G01N23203
G01N232055
G01N2320
G01N23046
G01N23041
代理机构
:
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人
:
张凌苗;申屠伟进
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-05-17
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 23/2251 申请日:20200430
2020-11-06
公开
公开
共 50 条
[1]
使用带电粒子显微镜检查样品的方法
[P].
T.图玛
论文数:
0
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T.图玛
;
J.赫拉迪尔
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J.赫拉迪尔
;
P.赫拉文卡
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P.赫拉文卡
.
中国专利
:CN110849926A
,2020-02-28
[2]
使用带电粒子显微镜检查样品的方法
[P].
T.图玛
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机构:
FEI公司
FEI公司
T.图玛
;
J.赫拉迪尔
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机构:
FEI公司
FEI公司
J.赫拉迪尔
;
P.赫拉文卡
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机构:
FEI公司
FEI公司
P.赫拉文卡
.
美国专利
:CN110849926B
,2025-02-14
[3]
使用带电粒子显微镜检查样品的方法
[P].
J.克卢萨切克
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J.克卢萨切克
;
T.图玛
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T.图玛
;
J.彼得雷克
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J.彼得雷克
.
中国专利
:CN112098440A
,2020-12-18
[4]
使用带电粒子显微镜检查样品的方法
[P].
J.克卢萨切克
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FEI公司
FEI公司
J.克卢萨切克
;
T.图玛
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机构:
FEI公司
FEI公司
T.图玛
;
J.彼得雷克
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机构:
FEI公司
FEI公司
J.彼得雷克
.
美国专利
:CN112098440B
,2024-08-13
[5]
使用带电粒子显微镜检查样品的方法
[P].
J.克卢萨切克
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机构:
FEI公司
FEI公司
J.克卢萨切克
;
T.图玛
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机构:
FEI公司
FEI公司
T.图玛
;
J.佩特热克
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机构:
FEI公司
FEI公司
J.佩特热克
.
美国专利
:CN111896572B
,2024-12-17
[6]
使用带电粒子显微镜检查样品的方法
[P].
T·图玛
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T·图玛
;
J·克卢萨切克
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J·克卢萨切克
;
J·派特雷克
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J·派特雷克
.
中国专利
:CN112394076A
,2021-02-23
[7]
使用带电粒子显微镜检查样品的方法
[P].
J.克卢萨切克
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J.克卢萨切克
;
T.图玛
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T.图玛
.
中国专利
:CN111982938A
,2020-11-24
[8]
使用带电粒子显微镜检查样品的方法
[P].
J.克卢萨切克
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机构:
FEI公司
FEI公司
J.克卢萨切克
;
T.图玛
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机构:
FEI公司
FEI公司
T.图玛
.
美国专利
:CN111982938B
,2024-06-04
[9]
使用带电粒子显微镜检查样品的方法
[P].
J·克卢塞克
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机构:
FEI公司
FEI公司
J·克卢塞克
;
P·赫拉文卡
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机构:
FEI公司
FEI公司
P·赫拉文卡
;
M·瓦纳特卡
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机构:
FEI公司
FEI公司
M·瓦纳特卡
;
O·瓦维尔卡
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机构:
FEI公司
FEI公司
O·瓦维尔卡
.
美国专利
:CN117438268A
,2024-01-23
[10]
使用带电粒子显微镜检查样品的方法
[P].
J.克卢萨切克
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机构:
FEI公司
FEI公司
J.克卢萨切克
;
T.图玛
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机构:
FEI公司
FEI公司
T.图玛
.
美国专利
:CN111982938B9
,2024-07-02
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