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基板拾取装置及基板拾取方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011282074.0
申请日：
2020-11-16
公开(公告)号：
CN113009729A
公开(公告)日：
2021-06-22
发明(设计)人：
中田胜喜
申请人：
申请人地址：
日本大阪府
IPC主分类号：
G02F11333
IPC分类号：
H01L21683
C03B3303
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
刘文海
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-22 | 公开 | 公开 |
| 2022-12-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G02F 1/1333 申请日:20201116 |