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离子束流密度和能量的同步测量装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN200720075175.4
申请日
:
2007-09-29
公开(公告)号
:
CN201102984Y
公开(公告)日
:
2008-08-20
发明(设计)人
:
王聪娟
晋云霞
邵建达
申请人
:
申请人地址
:
201800上海市800-211邮政信箱
IPC主分类号
:
C23C1454
IPC分类号
:
代理机构
:
上海新天专利代理有限公司
代理人
:
张泽纯
法律状态
:
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2009-07-29
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权) 放弃生效日:2007929
共 50 条
[1]
离子束流密度和能量的同步测量装置
[P].
王聪娟
论文数:
0
引用数:
0
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0
王聪娟
;
晋云霞
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晋云霞
;
邵建达
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0
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0
邵建达
.
中国专利
:CN101130858A
,2008-02-27
[2]
离子束流密度探测装置
[P].
张大伟
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张大伟
;
范瑞英
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范瑞英
;
方明
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方明
;
邵建达
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邵建达
;
范正修
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范正修
;
张东平
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张东平
;
尚淑珍
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尚淑珍
;
范树海
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0
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0
范树海
.
中国专利
:CN1249264C
,2005-01-12
[3]
一种离子束流密度测量装置
[P].
吴彩林
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0
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吴彩林
;
代忠红
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代忠红
;
宁平华
论文数:
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宁平华
.
中国专利
:CN204102853U
,2015-01-14
[4]
一种离子束流测量头及离子束流测量装置
[P].
赵达逵
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
赵达逵
;
田甲
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
田甲
;
武冲
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
武冲
.
中国专利
:CN120018361A
,2025-05-16
[5]
离子束流测量装置及其方法
[P].
樊树宝
论文数:
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机构:
青岛思锐智能科技股份有限公司
青岛思锐智能科技股份有限公司
樊树宝
;
张爱军
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0
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机构:
青岛思锐智能科技股份有限公司
青岛思锐智能科技股份有限公司
张爱军
.
中国专利
:CN120085342A
,2025-06-03
[6]
电推进定向离子束流密度的微型测量探针装置
[P].
杨晨
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机构:
上海易推动力科技有限公司
上海易推动力科技有限公司
杨晨
;
李凡
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机构:
上海易推动力科技有限公司
上海易推动力科技有限公司
李凡
;
李永杰
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机构:
上海易推动力科技有限公司
上海易推动力科技有限公司
李永杰
;
宁中喜
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机构:
上海易推动力科技有限公司
上海易推动力科技有限公司
宁中喜
.
中国专利
:CN221710111U
,2024-09-13
[7]
离子束测量装置
[P].
林世文
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林世文
;
蔡庆文
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蔡庆文
;
吴书明
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吴书明
;
徐大镇
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0
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徐大镇
.
中国专利
:CN101064265A
,2007-10-31
[8]
离子束流的分离装置
[P].
黄维
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机构:
广东省新兴激光等离子体技术研究院
广东省新兴激光等离子体技术研究院
黄维
;
朱昆
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机构:
广东省新兴激光等离子体技术研究院
广东省新兴激光等离子体技术研究院
朱昆
;
蔡实现
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机构:
广东省新兴激光等离子体技术研究院
广东省新兴激光等离子体技术研究院
蔡实现
.
中国专利
:CN222073457U
,2024-11-26
[9]
离子束流均匀度测量装置
[P].
田甲
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
田甲
.
中国专利
:CN119199947A
,2024-12-27
[10]
束间同步测量装置
[P].
唐顺兴
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唐顺兴
;
朱宝强
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0
朱宝强
.
中国专利
:CN110987199A
,2020-04-10
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