离子束流密度和能量的同步测量装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN200720075175.4
申请日
2007-09-29
公开(公告)号
CN201102984Y
公开(公告)日
2008-08-20
发明(设计)人
王聪娟 晋云霞 邵建达
申请人
申请人地址
201800上海市800-211邮政信箱
IPC主分类号
C23C1454
IPC分类号
代理机构
上海新天专利代理有限公司
代理人
张泽纯
法律状态
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
国省代码
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共 50 条
[1]
离子束流密度和能量的同步测量装置 [P]. 
王聪娟 ;
晋云霞 ;
邵建达 .
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[2]
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[3]
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