浆料、研磨液组、研磨液、基体的研磨方法以及基体

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480045446.4

申请日：

2014-08-26

公开(公告)号：

CN105453235B

公开(公告)日：

2016-03-30

发明(设计)人：

岩野友洋

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

B24B3700 C09K314

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

钟晶;金鲜英

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-30	公开	公开
2018-04-13	授权	授权
2016-04-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101657701293 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:2014800454464 申请日:20140826

共 50 条

[1]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体 [P].

岩野友洋 ;

南久贵 ;

阿久津利明 ;

藤崎耕司 .

中国专利 :CN104334675A ,2015-02-04

[2]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体 [P].

岩野友洋 ;

南久贵 ;

阿久津利明 ;

藤崎耕司 .

中国专利 :CN104335331A ,2015-02-04

[3]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体 [P].

岩野友洋 ;

南久贵 ;

阿久津利明 ;

藤崎耕司 .

中国专利 :CN104321854B ,2015-01-28

[4]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法以及基体 [P].

南久贵 ;

岩野友洋 ;

荒川敬太 ;

日高敬浩 .

中国专利 :CN105518833A ,2016-04-20

[5]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法以及基体 [P].

南久贵 ;

岩野友洋 ;

荒川敬太 ;

日高敬浩 .

中国专利 :CN111378416A ,2020-07-07

[6]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体 [P].

岩野友洋 ;

南久贵 ;

阿久津利明 ;

藤崎耕司 .

中国专利 :CN104321852A ,2015-01-28

[7]

スラリー、研磨液セット、研磨液、基体の研磨方法及び基体[ja] [P].

日本专利 :JPWO2013175857A1 ,2016-01-12

[8]

スラリー、研磨液セット、研磨液、基体の研磨方法及び基体[ja] [P].

日本专利 :JPWO2013175859A1 ,2016-01-12

[9]

スラリー、研磨液セット、研磨液、基体の研磨方法及び基体[ja] [P].

日本专利 :JPWO2013175856A1 ,2016-01-12

[10]

スラリー、研磨液セット、研磨液、基体の研磨方法及び基体[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015030009A1 ,2017-03-02

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