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吸附结构及芯片检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121405645.5
申请日：
2021-06-23
公开(公告)号：
CN215665867U
公开(公告)日：
2022-01-28
发明(设计)人：
冯利民
张磊
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市苏州工业园区青丘巷8号
IPC主分类号：
B65G4791
IPC分类号：
G01R3128
代理机构：
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
何冲
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-28 | 授权 | 授权 |