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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2010-05-26 | 授权 | 授权 |
| 2010-10-20 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101009188921 IPC(主分类):G03F 1/14 专利号:ZL2008200608125 变更事项:专利权人 变更前权利人:上海天马微电子有限公司 变更后权利人:武汉天马微电子有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201201 上海市浦东新区汇庆路889号5层 变更后权利人:430074 武汉东湖新技术开发区东一产业园流芳园路8号 登记生效日:20100901 |
| 2018-10-30 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):G03F 1/14 申请日:20081007 授权公告日:20100526 |
| 2019-01-22 | 文件的公告送达 | 文件的公告送达 IPC(主分类):G03F 1/14 收件人:武汉天马微电子有限公司 文件名称:专利权届满终止通知书 |