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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-11-26 | 公开 | 公开 |
| 2021-06-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/331 申请日:20180517 |
| 2021-07-09 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/331 变更事项:申请人 变更前:上海先进半导体制造股份有限公司 变更后:上海先进半导体制造有限公司 变更事项:地址 变更前:200233 上海市徐汇区虹漕路385号 变更后:200233 上海市徐汇区虹漕路385号 |