电容式微机械超声换能器柔性柱面阵及其制备方法

被引:0
申请号
CN202210559051.2
申请日
2022-05-22
公开(公告)号
CN114871083A
公开(公告)日
2022-08-09
发明(设计)人
王任鑫 张文栋 秦芸 王智豪 张国军 杨玉华 何常德 崔建功 张赛 穆罕默德·伊尔马兹 埃汉·博兹库尔特
申请人
申请人地址
030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号
IPC主分类号
B06B102
IPC分类号
代理机构
太原倍智知识产权代理事务所(普通合伙) 14111
代理人
张宏
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
电容式微机械超声换能器及其制造方法 [P]. 
多米尼克·格罗斯 ;
西里尔·梅尼埃 ;
尼古拉斯·塞内贡 .
中国专利 :CN113316486A ,2021-08-27
[2]
静电电容式微机械超声换能器 [P]. 
李炳喆 ;
崔里诺 ;
李活 .
中国专利 :CN111545438B ,2020-08-18
[3]
电容式微机械超声换能器及其制作方法 [P]. 
郑庆祥 ;
李英拓 ;
金积德 ;
王泽霖 ;
杨婷婷 .
中国专利 :CN114367430B ,2022-04-19
[4]
一种柔性透明电容式微机械超声换能器及其制备方法 [P]. 
任俊彦 ;
王言 ;
何勒铭 .
中国专利 :CN115055357B ,2024-07-12
[5]
一种柔性透明电容式微机械超声换能器及其制备方法 [P]. 
任俊彦 ;
王言 ;
何勒铭 .
中国专利 :CN115055357A ,2022-09-16
[6]
电容式微机械超声换能单元及其制作方法和电容式微机械超声换能器 [P]. 
陶永春 ;
张宜驰 .
中国专利 :CN112974198B ,2021-06-18
[7]
一种电容式微机械阵列超声换能器 [P]. 
曹彬雷 ;
宋金龙 ;
李杰 ;
孙贝贝 ;
周六辉 .
中国专利 :CN120169659A ,2025-06-20
[8]
基于SOI埋氧层牺牲释放技术的电容式微机械超声换能器及其制备方法 [P]. 
王任鑫 ;
张文栋 ;
王智豪 ;
秦芸 ;
张国军 ;
何常德 ;
王红亮 ;
杨玉华 ;
崔建功 .
中国专利 :CN113731779B ,2021-12-03
[9]
柔性化电容式微加工超声换能器及其制备方法 [P]. 
张丹丹 ;
刘玉荣 ;
姚若河 ;
韦岗 .
中国专利 :CN105413997B ,2016-03-23
[10]
新型电容式微机械超声换能器和控制方法 [P]. 
马波 ;
尤政 .
中国专利 :CN118698842A ,2024-09-27