测圆架及具有其的圆度测量系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910375838.1

申请日：

2019-05-07

公开(公告)号：

CN110095103A

公开(公告)日：

2019-08-06

发明(设计)人：

周叶潘罗平曹登峰刘永强谭志锋王俊杰郑云峰江翠伟邹志超

申请人：

申请人地址：

100038 北京市海淀区车公庄西路20号

IPC主分类号：

G01B2120

IPC分类号：

G01B728

代理机构：

北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391

代理人：

薛峰;张玉涛

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 21/20 申请日:20190507
2019-08-06	公开	公开

共 50 条

[1]

测圆架及具有其的圆度测量系统 [P].

周叶 ;

潘罗平 ;

曹登峰 ;

刘永强 ;

谭志锋 ;

王俊杰 ;

郑云峰 ;

江翠伟 ;

邹志超 .

中国专利 :CN209706785U ,2019-11-29

[2]

测圆架及具有其的圆度测量系统 [P].

周叶 ;

潘罗平 ;

曹登峰 ;

刘永强 ;

谭志锋 ;

王俊杰 ;

郑云峰 ;

江翠伟 ;

邹志超 .

中国专利 :CN110095103B ,2024-02-02

[3]

圆度测量系统 [P].

周叶 ;

潘罗平 ;

曹登峰 ;

刘永强 ;

谭志锋 ;

王俊杰 ;

郑云峰 ;

江翠伟 ;

邹志超 .

中国专利 :CN110044315B ,2024-02-02

[4]

圆度测量系统 [P].

周叶 ;

潘罗平 ;

曹登峰 ;

刘永强 ;

谭志锋 ;

王俊杰 ;

郑云峰 ;

江翠伟 ;

邹志超 .

中国专利 :CN110044315A ,2019-07-23

[5]

圆度测量系统 [P].

周叶 ;

潘罗平 ;

曹登峰 ;

刘永强 ;

谭志锋 ;

王俊杰 ;

郑云峰 ;

江翠伟 ;

邹志超 .

中国专利 :CN209927119U ,2020-01-10

[6]

圆度测量系统及方法 [P].

简扬昌 .

中国专利 :CN1884965A ,2006-12-27

[7]

圆度测量装置和圆度测量方法 [P].

蒋超友 ;

尹峰 ;

柏进财 ;

魏颖颖 ;

张剑 ;

巩鹏 ;

张燕 .

中国专利 :CN107167062A ,2017-09-15

[8]

基于虚拟仪器的圆度测量系统 [P].

程庆斌 ;

马宏宾 .

中国专利 :CN111981970A ,2020-11-24

[9]

晶圆平坦度测量装置及晶圆平坦度测量系统 [P].

刘源 ;

牛景豪 .

中国专利 :CN108807204B ,2018-11-13

[10]

圆度测量装置 [P].

蒋超友 ;

尹峰 ;

柏进财 ;

魏颖颖 ;

张剑 ;

巩鹏 ;

张燕 .

中国专利 :CN206787462U ,2017-12-22

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