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基板收纳容器管理系统、装载端口、基板收纳容器管理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910434628.5
申请日：
2019-05-23
公开(公告)号：
CN110534455A
公开(公告)日：
2019-12-03
发明(设计)人：
伊藤泉
水谷友哉
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21673
H01L21677
代理机构：
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人：
张敬强;杜嘉璐
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-12-03 | 公开 | 公开 |
| 2021-05-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190523 |