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一种柔性振动传感器及其制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010997543.0
申请日：
2020-09-21
公开(公告)号：
CN112161695B
公开(公告)日：
2021-01-01
发明(设计)人：
张旻
王志标
李宏正
刘易鑫
申请人：
申请人地址：
518055 广东省深圳市南山区西丽街道深圳大学城清华校区A栋二楼
IPC主分类号：
G01H900
IPC分类号：
代理机构：
深圳新创友知识产权代理有限公司 44223
代理人：
王震宇
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01H 9/00 申请日:20200921 |
| 2022-04-29 | 授权 | 授权 |
| 2021-01-01 | 公开 | 公开 |