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超声波振动方法与超声波振动装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN01806660.7
申请日：
2001-11-19
公开(公告)号：
CN1418134A
公开(公告)日：
2003-05-14
发明(设计)人：
富永守雄
岩桥真司
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
B06B102
IPC分类号：
H01L2160
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
杨凯;叶恺东
法律状态：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2009-01-14 | 专利权的终止(未缴年费专利权终止) | 专利权的终止(未缴年费专利权终止) |
| 2003-07-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2006-07-05 | 授权 | 授权 |
| 2003-05-14 | 公开 | 公开 |