抗蚀剂组合物和图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810854838.5

申请日：

2018-07-31

公开(公告)号：

CN109324478A

公开(公告)日：

2019-02-12

发明(设计)人：

阿达铁平谷口良辅片山和弘

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

杜丽利

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-12	公开	公开
2019-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20180731

共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法 [P].

熊田信次 ;

前盛谕 ;

新井雅俊 ;

盐野大寿 .

中国专利 :CN102621807A ,2012-08-01

[2]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

大野庆晃 ;

河野绅一 .

中国专利 :CN110673438A ,2020-01-10

[3]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

砂道智成 ;

桥本阳奈 ;

平野智之 ;

中川裕介 .

日本专利 :CN118414582A ,2024-07-30

[4]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

丹野一石 ;

中村刚 ;

赵恩率 .

日本专利 :CN110275395B ,2024-05-17

[5]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

丹野一石 ;

中村刚 ;

赵恩率 .

中国专利 :CN110275395A ,2019-09-24

[6]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

生川智启 ;

藤崎真史 ;

长峰高志 ;

高木大地 .

中国专利 :CN110192151A ,2019-08-30

[7]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

平野智之 ;

砂道智成 ;

桥本阳奈 ;

中川裕介 .

日本专利 :CN118401895A ,2024-07-26

[8]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

平野智之 ;

米村幸治 ;

中川裕介 .

中国专利 :CN112987497A ,2021-06-18

[9]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

中村刚 ;

铃木阳介 ;

李俊烨 .

中国专利 :CN112654926A ,2021-04-13

[10]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

白木雄哲 ;

李米静 .

中国专利 :CN114114833A ,2022-03-01

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