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一种用于湿式制程机台的抽气设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821194611.4
申请日：
2018-07-26
公开(公告)号：
CN208422876U
公开(公告)日：
2019-01-22
发明(设计)人：
魏杰
黄荣龙
申请人：
申请人地址：
230001 安徽省合肥市包河区延安路2号宏实集团工业园区
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390
代理人：
胡剑辉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-01-22 | 授权 | 授权 |
| 2022-07-08 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20180726 授权公告日:20190122 终止日期:20210726 |