等离子体设备及等离子体设备监测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711033218.7

申请日：

2017-10-30

公开(公告)号：

CN109727837B

公开(公告)日：

2019-05-07

发明(设计)人：

陈怡杰廖耕颍宋至伟陈明凯邱瀚仁陈益弘

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

冯志云;王芝艳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-23	授权	授权
2019-05-07	公开	公开
2019-05-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20171030

共 50 条

[1]

等离子体设备和等离子体处理方法 [P].

叶江波 ;

钱俊 ;

肖禄 .

中国专利 :CN109564987A ,2019-04-02

[2]

等离子体设备 [P].

管长乐 ;

范强 .

中国专利 :CN120048715A ,2025-05-27

[3]

等离子体设备 [P].

M·坎茨勒 ;

P·赛兰 ;

F·米歇尔 ;

T·文德 .

中国专利 :CN114830835A ,2022-07-29

[4]

等离子体设备 [P].

管长乐 ;

范强 .

中国专利 :CN120048715B ,2025-11-25

[5]

等离子体设备 [P].

弗拉基米尔·E·贝拉斯琴科 ;

奥列格·P·索洛伦科 ;

安德里·V·斯米尔诺夫 .

中国专利 :CN101605625B ,2009-12-16

[6]

等离子体设备 [P].

纪乃富 ;

侯军令 ;

杨文柏 .

中国专利 :CN121054461A ,2025-12-02

[7]

等离子体喷射装置及低温等离子体设备 [P].

赵武 ;

陈军 ;

郭鑫 ;

张梁坤 .

中国专利 :CN209472820U ,2019-10-08

[8]

电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备 [P].

邬苏东 ;

叶继春 ;

高平奇 ;

杨映虎 ;

韩灿 ;

张胜 .

中国专利 :CN104867801A ,2015-08-26

[9]

电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备 [P].

邬苏东 ;

叶继春 ;

高平奇 ;

杨映虎 ;

韩灿 ;

张胜 .

中国专利 :CN204614759U ,2015-09-02

[10]

等离子体产生设备及等离子体处理设备 [P].

尤里·N·托尔马切夫 ;

马东俊 ;

金大一 ;

瑟吉·Y·纳瓦拉 .

中国专利 :CN1652661A ,2005-08-10

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