匀胶显影机用机械手装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200620090740.X

申请日：

2006-05-10

公开(公告)号：

CN2901376Y

公开(公告)日：

2007-05-16

发明(设计)人：

程金胜于海川张军侯宪华孟祥军

申请人：

申请人地址：

110168辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号

IPC主分类号：

G03F726

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

沈阳科苑专利商标代理有限公司

代理人：

张志伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-05-16	授权	授权
2016-06-29	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101668960369 IPC(主分类):G03F 7/26 专利号:ZL200620090740X 申请日:20060510 授权公告日:20070516 终止日期:20150510

共 50 条

[1]

匀胶显影机 [P].

楼文伟 ;

胡宁波 .

中国专利 :CN306236989S ,2020-12-18

[2]

匀胶显影机 [P].

楼文伟 .

中国专利 :CN308765957S ,2024-08-02

[3]

匀胶显影机 [P].

傅立超 .

中国专利 :CN305017975S ,2019-01-29

[4]

一种匀胶显影机 [P].

蔡明堂 ;

黄宽信 .

中国专利 :CN214474411U ,2021-10-22

[5]

匀胶显影机的冷却装置 [P].

丁桃宝 ;

刘毅 .

中国专利 :CN208796024U ,2019-04-26

[6]

匀胶显影机台 [P].

王冬 ;

符平平 .

中国专利 :CN304758192S ,2018-08-03

[7]

用于匀胶显影机的供液系统及匀胶显影系统 [P].

余坚 ;

纪开勋 ;

徐阳 ;

杨婧 ;

姜洪晓 ;

周璐璐 .

中国专利 :CN220584544U ,2024-03-12

[8]

匀胶显影机（QX1950） [P].

魏子尧 .

中国专利 :CN306012328S ,2020-08-25

[9]

一种匀胶显影机表面清洗装置 [P].

刘娥慧 ;

刘雍文 .

中国专利 :CN218133463U ,2022-12-27

[10]

一种匀胶显影机硅片烘干装置 [P].

吴想 ;

叶诚 .

中国专利 :CN218120371U ,2022-12-23

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