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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-09-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101520123529 IPC(主分类):G03F 7/00 专利申请号:2011800617398 申请日:20110831 |
| 2013-08-21 | 公开 | 公开 |
| 2015-06-17 | 授权 | 授权 |
| 2014-12-03 | 著录事项变更 | 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101708065573 IPC(主分类):G03F 7/00 专利申请号:2011800617398 变更事项:申请人 变更前:东海橡塑工业株式会社 变更后:住友理工株式会社 变更事项:地址 变更前:日本爱知县 变更后:日本爱知县 |