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硅片清洗机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010425906.3
申请日：
2020-05-19
公开(公告)号：
CN111613554A
公开(公告)日：
2020-09-01
发明(设计)人：
胡睿凡
王笑非
王锐廷
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21673
B08B304
代理机构：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315
代理人：
张少辉
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-09-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20200519 |
| 2020-09-01 | 公开 | 公开 |