一种大尺寸硅片插片机分片装置

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申请号
CN202123185085.X
申请日
2021-12-17
公开(公告)号
CN216528775U
公开(公告)日
2022-05-13
发明(设计)人
王心才
申请人
申请人地址
224431 江苏省盐城市阜宁经济开发区协鑫大道88号
IPC主分类号
H01L2167
IPC分类号
H01L21677
代理机构
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人
王亚琼
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种大尺寸硅片插片机分片装置 [P]. 
曹志勇 ;
杭智华 ;
姜志刚 .
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[2]
一种插片机的硅片吹气分片装置 [P]. 
章祥静 ;
代正华 .
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[3]
一种硅片插片机用分片机构 [P]. 
邱文良 .
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[4]
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鲁战锋 ;
张珊 ;
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迪大明 ;
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[5]
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[6]
一种用于大尺寸硅片的插片装置 [P]. 
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赵越 ;
钟海涛 ;
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王冬雪 ;
危晨 .
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[7]
吸水板、分片传输装置及硅片插片机 [P]. 
任新刚 ;
鲁战锋 ;
张超 ;
张珊 ;
杜杰 ;
李静 ;
成路 .
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[8]
一种插片机用硅片插片盒 [P]. 
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[9]
一种硅片插片机用分片机构 [P]. 
邱文良 .
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[10]
太阳能硅片插片机水中分片机构 [P]. 
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钱红玉 .
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