基板运送设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910173164.3

申请日：

2009-09-14

公开(公告)号：

CN101673698A

公开(公告)日：

2010-03-17

发明(设计)人：

池畑淑照

申请人：

申请人地址：

日本大阪府大阪市

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L21673 H01L21683 B65G104 B65G4906 B65D8548 B25J1500

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

温大鹏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101095709293 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2009101731643 申请日:20090914
2010-03-17	公开	公开
2022-08-26	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20090914 授权公告日:20130529 终止日期:20210914
2013-05-29	授权	授权

共 50 条

[1]

基板运送设备和基板运送方法 [P].

角英树 .

中国专利 :CN101836524B ,2010-09-15

[2]

基板运送装置 [P].

三浦好美 .

中国专利 :CN1456036A ,2003-11-12

[3]

基板用收纳容器和基板用收纳容器用的基板运送设备 [P].

池畑淑照 .

中国专利 :CN101670919A ,2010-03-17

[4]

运送设备 [P].

松川和史 .

中国专利 :CN1274545C ,2002-04-10

[5]

运送车以及运送设备 [P].

上田雄一 ;

岩田昌重 ;

江本旭 .

中国专利 :CN114684519A ,2022-07-01

[6]

运送设备和运送带 [P].

安托万·加斯顿·丹尼斯·比森 ;

基思·雷蒙德·盖洛 ;

雅各布·伊曼 ;

罗希特·拉伊 .

中国专利 :CN113631524A ,2021-11-09

[7]

运送车以及运送设备 [P].

上田雄一 ;

岩田昌重 ;

江本旭 .

中国专利 :CN110891882B ,2020-03-17

[8]

运送车以及运送设备 [P].

上田雄一 ;

岩田昌重 ;

江本旭 .

中国专利 :CN110891881A ,2020-03-17

[9]

运送设备 [P].

柴田贤一 ;

泽田知希 ;

新居俊夫 ;

下村升 ;

三宅康裕 .

中国专利 :CN1522924A ,2004-08-25

[10]

运送车以及运送设备 [P].

上田雄一 ;

岩田昌重 ;

江本旭 .

中国专利 :CN111032536A ,2020-04-17

← 1 2 3 4 5 →