具有防闪耀DMD的分辨率增强的数字光刻

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780083540.2

申请日：

2017-12-21

公开(公告)号：

CN110235060B

公开(公告)日：

2019-09-13

发明(设计)人：

托马斯·L·莱蒂格黄·J·郑

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F152 H01L21027

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20171221
2019-09-13	公开	公开
2021-12-07	授权	授权

共 50 条

[1]

分辨率增强的模数转换 [P].

A·洛维特 .

中国专利 :CN102427367A ,2012-04-25

[2]

图像分辨率增强 [P].

C·达姆卡特 .

中国专利 :CN102037489A ,2011-04-27

[3]

图像分辨率增强 [P].

Y·拉马什 ;

L·戈申 .

中国专利 :CN104126193A ,2014-10-29

[4]

分辨率增强成像 [P].

O·施瓦茨 ;

G·阿尔莫吉 ;

R·陆 ;

G·波洛维 ;

A·E·弗朗茨 .

美国专利 :CN118103751A ,2024-05-28

[5]

比特分辨率增强 [P].

V·巴斯卡兰 ;

N·巴尔拉姆 ;

S·斯里尼瓦桑 ;

S·加格 .

中国专利 :CN102216953A ,2011-10-12

[6]

一种高分辨率的无掩模光刻系统 [P].

刘鹏 ;

刘浩然 .

中国专利 :CN112526832B ,2021-03-19

[7]

波束转向分辨率增强 [P].

D·巴拉巴施 .

:CN113287267B ,2024-06-18

[8]

波束转向分辨率增强 [P].

D·巴拉巴施 .

中国专利 :CN113287267A ,2021-08-20

[9]

一种基于位移补偿提高DMD无掩模光刻分辨率的方法 [P].

李春 ;

杨卓俊 ;

林杰 ;

张秋松 ;

兰长勇 .

中国专利 :CN116027640B ,2024-07-26

[10]

一种基于光学拼接手段实现DMD的分辨率提高的方法 [P].

任国焘 ;

张旺 ;

解放 ;

范志刚 ;

左保军 .

中国专利 :CN104570331A ,2015-04-29

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