一种晶圆盒FOUP自动锁定与解锁装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922440111.5

申请日：

2019-12-30

公开(公告)号：

CN211320065U

公开(公告)日：

2020-08-21

发明(设计)人：

马丽梅张朝增

申请人：

申请人地址：

102615 北京市大兴区长子营镇留民营村留民营路10号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L2168

代理机构：

北京中南长风知识产权代理事务所(普通合伙) 11674

代理人：

马龙

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20191230 授权公告日:20200821 终止日期:20201230
2020-08-21	授权	授权

共 50 条

[1]

一种foup盒自动解锁装置及foup盒 [P].

赵治国 ;

何书龙 ;

于大元 ;

华正雨 ;

陈睿 ;

周昊 .

中国专利 :CN109969593A ,2019-07-05

[2]

一种自动锁定与解锁装置 [P].

张恒铭 ;

樊振凯 ;

邓皓 ;

方政彭 .

中国专利 :CN220286158U ,2024-01-02

[3]

一种8吋晶圆盒自动解锁装置 [P].

徐鑫 ;

王晓飞 .

中国专利 :CN214848529U ,2021-11-23

[4]

一种12吋晶圆盒自动解锁装置 [P].

张旭东 ;

石春潮 .

中国专利 :CN214378367U ,2021-10-08

[5]

晶圆盒锁定装置及晶圆盒 [P].

杨文卿 ;

于佩玉 ;

张宁 .

中国专利 :CN220474588U ,2024-02-09

[6]

一种自动锁定与解锁装置 [P].

张恒铭 ;

沈瑞娜 ;

孙岩 ;

崔小航 .

中国专利 :CN218325728U ,2023-01-17

[7]

一种圆晶盒密封门解锁装置 [P].

王晓飞 ;

顾文豪 ;

张宵雨 .

中国专利 :CN218385141U ,2023-01-24

[8]

一种十二寸晶圆盒解锁装置 [P].

王晓飞 ;

顾文豪 ;

张宵雨 .

中国专利 :CN218385140U ,2023-01-24

[9]

一种锁定与快速解锁装置 [P].

张恒铭 ;

沈瑞娜 ;

贺婷钰 ;

李斌 .

中国专利 :CN220415945U ,2024-01-30

[10]

一种折叠锁定与解锁装置 [P].

罗梓珊 .

中国专利 :CN204223095U ,2015-03-25

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