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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-11-14 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G05D 16/20 变更事项:专利权人 变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 变更后:北京北方华创微电子装备有限公司 变更事项:地址 变更前:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 变更后:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 |
| 2008-05-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2008-03-12 | 公开 | 公开 |
| 2009-09-16 | 授权 | 授权 |