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空间分光同轴斐索型同步移相干涉仪及其测量方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201610343225.6
申请日
:
2016-05-20
公开(公告)号
:
CN105928455A
公开(公告)日
:
2016-09-07
发明(设计)人
:
陈磊
朱文华
郑东晖
孟诗
孙沁园
张瑞
韩志刚
乌兰图雅
何勇
王青
申请人
:
申请人地址
:
210094 江苏省南京市孝陵卫200号
IPC主分类号
:
G01B902
IPC分类号
:
G01J902
代理机构
:
南京理工大学专利中心 32203
代理人
:
薛云燕
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2018-11-13
授权
授权
2016-10-05
实质审查的生效
实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101681320452 IPC(主分类):G01B 9/02 专利申请号:2016103432256 申请日:20160520
2016-09-07
公开
公开
共 50 条
[1]
泰曼型点源阵列异位同步移相干涉仪及其测量方法
[P].
陈磊
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陈磊
;
丁煜
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丁煜
;
朱文华
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朱文华
;
韩志刚
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韩志刚
;
郑东晖
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郑东晖
;
张瑞
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张瑞
;
张沁园
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张沁园
;
乌兰雅图
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乌兰雅图
.
中国专利
:CN106643475A
,2017-05-10
[2]
可调扩展光源照明的同轴斐索型同步移相干涉仪
[P].
朱秋东
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朱秋东
;
王姗姗
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王姗姗
.
中国专利
:CN101788263B
,2010-07-28
[3]
点源异位扩束同步移相斐索干涉仪及其测量方法
[P].
陈磊
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陈磊
;
朱文华
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朱文华
;
张瑞
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张瑞
;
杨影
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杨影
;
丁煜
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丁煜
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郑东晖
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郑东晖
;
孙沁园
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孙沁园
;
韩志刚
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韩志刚
;
朱日宏
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朱日宏
.
中国专利
:CN107631687B
,2018-01-26
[4]
用于同步移相干涉仪的空间移相器
[P].
曾爱军
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曾爱军
;
郭小娴
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郭小娴
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江晓军
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江晓军
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黄惠杰
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黄惠杰
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王向朝
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王向朝
.
中国专利
:CN201212838Y
,2009-03-25
[5]
用于同步移相干涉仪的空间移相器
[P].
曾爱军
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曾爱军
;
郭小娴
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郭小娴
;
江晓军
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江晓军
;
黄惠杰
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黄惠杰
;
王向朝
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王向朝
.
中国专利
:CN101319873A
,2008-12-10
[6]
斐索干涉仪及干涉测量系统
[P].
宋金龙
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法博思(宁波)半导体设备有限公司
法博思(宁波)半导体设备有限公司
宋金龙
;
董磊
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法博思(宁波)半导体设备有限公司
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董磊
;
张海
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法博思(宁波)半导体设备有限公司
法博思(宁波)半导体设备有限公司
张海
.
中国专利
:CN119164283B
,2025-03-18
[7]
斐索干涉仪及干涉测量系统
[P].
宋金龙
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机构:
法博思(宁波)半导体设备有限公司
法博思(宁波)半导体设备有限公司
宋金龙
;
董磊
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机构:
法博思(宁波)半导体设备有限公司
法博思(宁波)半导体设备有限公司
董磊
;
张海
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机构:
法博思(宁波)半导体设备有限公司
法博思(宁波)半导体设备有限公司
张海
.
中国专利
:CN119164283A
,2024-12-20
[8]
可调式同步移相干涉仪
[P].
林燕彬
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林燕彬
.
中国专利
:CN204881510U
,2015-12-16
[9]
光纤点衍射移相干涉仪的平面面形测量方法
[P].
陈凌峰
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陈凌峰
;
李杰
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李杰
;
周桃庚
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周桃庚
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张旭升
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张旭升
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何川
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何川
;
任雅青
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任雅青
.
中国专利
:CN101865670A
,2010-10-20
[10]
一种三窗口同步移相干涉仪
[P].
郝本功
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郝本功
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单明广
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单明广
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钟志
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钟志
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刁鸣
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刁鸣
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张雅彬
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张雅彬
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窦峥
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窦峥
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中国专利
:CN103217096A
,2013-07-24
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