硅片超声波清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720397483.2

申请日：

2017-04-14

公开(公告)号：

CN206602106U

公开(公告)日：

2017-10-31

发明(设计)人：

孙铁囤汤平姚伟忠

申请人：

申请人地址：

213000 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B312

代理机构：

常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258

代理人：

郑云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-31	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片超声波清洗装置 [P].

孙铁囤 ;

汤平 ;

姚伟忠 .

中国专利 :CN107068595A ,2017-08-18

[2]

超声波清洗装置 [P].

张国杰 ;

曹双宝 ;

刘超 ;

蒋焕召 .

中国专利 :CN203900021U ,2014-10-29

[3]

超声波清洗装置 [P].

薛庆丰 ;

石爱芳 .

中国专利 :CN208245342U ,2018-12-18

[4]

硅片超声波清洗装置 [P].

胡平忠 .

中国专利 :CN207770403U ,2018-08-28

[5]

光纤超声波清洗装置 [P].

吴超 ;

程飞 .

中国专利 :CN209550115U ,2019-10-29

[6]

双面超声波清洗装置 [P].

卢平 .

中国专利 :CN206444752U ,2017-08-29

[7]

一种超声波清洗装置 [P].

曾磊 ;

张玉玉 ;

纪杨 .

中国专利 :CN209829705U ,2019-12-24

[8]

超声波清洗装置 [P].

白立春 ;

高艳东 ;

陶志勇 ;

吴鹏飞 ;

白立新 ;

林伟军 ;

李超 ;

徐德龙 .

中国专利 :CN207154289U ,2018-03-30

[9]

超声波清洗装置 [P].

刘冀鲁 ;

刘凌云 ;

史志民 ;

章大林 ;

冯凤来 ;

赵正平 ;

赵爱平 ;

史晗 .

中国专利 :CN201988539U ,2011-09-28

[10]

超声波清洗装置 [P].

郭章纬 .

中国专利 :CN103769382A ,2014-05-07

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