曝光工艺及曝光机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110972435.2

申请日：

2021-08-24

公开(公告)号：

CN113687576A

公开(公告)日：

2021-11-23

发明(设计)人：

倪沁心陈铁玉陈建明梁添贵

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市南城街道白马振兴工业区先锋2路2号彼联科技园B栋0202

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

G03F720 H05K306

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

熊思远

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 9/00 申请日:20210824
2021-11-23	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光机与曝光工艺 [P].

苏洹漳 .

中国专利 :CN101271278A ,2008-09-24

[2]

曝光机及曝光系统 [P].

李凯波 ;

张晨 ;

胡超 ;

王欢 ;

崔家卿 .

中国专利 :CN106919008A ,2017-07-04

[3]

曝光工艺及装置 [P].

隆清德 .

中国专利 :CN102629078A ,2012-08-08

[4]

曝光方法及曝光机 [P].

宋江江 .

中国专利 :CN104166315B ,2014-11-26

[5]

曝光方法及曝光机 [P].

陈志特 ;

王华 ;

张少勋 .

中国专利 :CN118311839B ,2024-08-27

[6]

曝光机及曝光方法 [P].

刘浏 ;

石鹏程 ;

元敏 .

中国专利 :CN105652608B ,2016-06-08

[7]

曝光机及曝光方法 [P].

邹斌 .

中国专利 :CN113391521A ,2021-09-14

[8]

曝光方法及曝光机 [P].

陈志特 ;

王华 ;

张少勋 .

中国专利 :CN118311839A ,2024-07-09

[9]

一种多重曝光机及其曝光工艺 [P].

申徐进 ;

梁迅 .

中国专利 :CN120295064A ,2025-07-11

[10]

一种曝光机及曝光方法 [P].

李晓光 ;

汪栋 ;

肖宇 .

中国专利 :CN105467779A ,2016-04-06

← 1 2 3 4 5 →