一种新型层压机腔室结构

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申请号
CN202220009142.4
申请日
2022-01-05
公开(公告)号
CN217405450U
公开(公告)日
2022-09-09
发明(设计)人
戴杨斌 李巍巍 杨宁 白吟 张海川
申请人
申请人地址
301510 天津市宁河区宁河现代产业区海航东路5号
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
H01L31048
代理机构
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共 50 条
[1]
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[3]
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[6]
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[7]
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[9]
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