真空负压纳米压印装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410089275.3

申请日：

2004-12-09

公开(公告)号：

CN1624585A

公开(公告)日：

2005-06-08

发明(设计)人：

王庆康段智勇

申请人：

申请人地址：

200240上海市闵行区东川路800号

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

上海交达专利事务所

代理人：

王锡麟;王桂忠

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-02-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101189136275 IPC(主分类):G03F 7/00 专利号:ZL2004100892753 申请日:20041209 授权公告日:20061227 终止日期:20101209
2005-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-06-08	公开	公开
2006-12-27	授权	授权

共 50 条

[1]

真空负压纳米压印方法 [P].

王庆康 ;

段智勇 .

中国专利 :CN1624586A ,2005-06-08

[2]

真空负压纳米压印方法 [P].

冀然 .

中国专利 :CN106200262A ,2016-12-07

[3]

真空纳米压印装置 [P].

王云翔 ;

马冬月 ;

段仲伟 ;

许爱玲 ;

祝翠梅 ;

姚园 .

中国专利 :CN220584542U ,2024-03-12

[4]

一种负压式纳米压印设备 [P].

赵敏洁 ;

杨彦涛 .

中国专利 :CN107479325A ,2017-12-15

[5]

一种负压式纳米压印设备 [P].

冀然 .

中国专利 :CN214311286U ,2021-09-28

[6]

一种负压式纳米压印设备 [P].

张欣 .

中国专利 :CN106990671A ,2017-07-28

[7]

真空负压装置 [P].

戴晋福 ;

郭玉芬 ;

蔡东锋 ;

王建明 ;

钱晓明 ;

杨超林 .

中国专利 :CN2212099Y ,1995-11-08

[8]

真空负压装置 [P].

汤睿 ;

王磊 .

中国专利 :CN210564958U ,2020-05-19

[9]

真空负压设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119034030A ,2024-11-29

[10]

一种负压式纳米压印设备及其压印方法 [P].

冀然 .

中国专利 :CN113075859A ,2021-07-06

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