一种加热型边界层控制减阻超精密磁悬浮导轨工作台系统
发明(设计)人:
俞自涛
田付有
黄连锋
范利武
朱子钦
李佳琦
申请人地址:
310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
代理机构:
杭州求是专利事务所有限公司 33200
共 50 条
[2]
一种精密磁悬浮旋转工作台
[P].
权大甲
论文数: 0 引用数: 0
h-index: 0
机构:
鲁东大学
鲁东大学
权大甲
.
中国专利 :CN118636103A ,2024-09-13 [4]
一种超精密工作台
[P].
中国专利 :CN102189413A ,2011-09-21