靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910155953.8

申请日：

2019-03-01

公开(公告)号：

CN111636056A

公开(公告)日：

2020-09-08

发明(设计)人：

姚力军潘杰王学泽马国成

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C22C2706 B22F315

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴敏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-08	公开	公开
2020-10-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20190301

共 50 条

[1]

靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

马国成 .

中国专利 :CN111636052A ,2020-09-08

[2]

钨钛合金靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

罗明浩 ;

吴东青 .

中国专利 :CN111151763A ,2020-05-15

[3]

铌旋转靶材及其制备方法 [P].

杨永杰 ;

秦颖楠 ;

朱永超 ;

陆海涛 ;

尹志锋 .

中国专利 :CN121178853A ,2025-12-23

[4]

铬靶材的制造方法 [P].

姚力军 ;

赵凯 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

袁海军 .

中国专利 :CN104439246A ,2015-03-25

[5]

铬铝合金靶材及其制备方法 [P].

唐培新 ;

张凤戈 ;

张路长 ;

姚伟 ;

姜海 ;

赵雷 ;

高明 ;

郝权 ;

孙继洲 .

中国专利 :CN104416156A ,2015-03-18

[6]

铬靶材的制作方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

宋佳 .

中国专利 :CN103785838A ,2014-05-14

[7]

钨靶材的制作方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

袁海军 .

中国专利 :CN103567443B ,2014-02-12

[8]

钨靶材的制作方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

袁海军 .

中国专利 :CN102343437B ,2012-02-08

[9]

钨靶材的制作方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

袁海军 .

中国专利 :CN103567444B ,2014-02-12

[10]

钼硅靶材的制造方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

张涛 .

中国专利 :CN105642899B ,2016-06-08

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