带有压力和加速度传感器元件的半导体管芯

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110909601.4

申请日：

2021-08-09

公开(公告)号：

CN114132887A

公开(公告)日：

2022-03-04

发明(设计)人：

S·比塞尔特 D·迈因霍尔德

申请人：

申请人地址：

德国德累斯顿

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

B81C100 G01L906 G01P15125

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

闫昊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20210809
2022-03-04	公开	公开

共 50 条

[1]

半导体加速度传感器 [P].

新荻正隆 ;

齐藤丰 ;

加藤健二 .

中国专利 :CN1168472A ,1997-12-24

[2]

半导体加速度传感器 [P].

新荻正隆 ;

齐藤丰 ;

加藤健二 .

中国专利 :CN1160206A ,1997-09-24

[3]

半导体加速度传感器 [P].

新荻正隆 ;

齐藤丰 ;

加藤健二 .

中国专利 :CN1172250A ,1998-02-04

[4]

半导体加速度传感器 [P].

新荻正隆 ;

齐藤丰 ;

加藤健二 .

中国专利 :CN1171554A ,1998-01-28

[5]

半导体加速度传感器 [P].

福田纯久 ;

境浩司 ;

石上敦史 ;

古久保英一 ;

饭井良介 ;

矢岛孝志 .

中国专利 :CN1942768A ,2007-04-04

[6]

半导体加速度传感器 [P].

池田由夫 ;

细田雅之 ;

坂口勇夫 ;

斋藤正胜 .

中国专利 :CN1776434A ,2006-05-24

[7]

半导体加速度传感器 [P].

M·筱木 ;

Y·斋藤 ;

Y·吉田 ;

H·原田 ;

K·加藤 .

中国专利 :CN1143749A ,1997-02-26

[8]

半导体加速度传感器 [P].

温明生 ;

唐世洪 ;

杨复兴 ;

刘庆海 ;

田景群 ;

张国华 .

中国专利 :CN2166447Y ,1994-05-25

[9]

加速度传感器和加速度传感器的制造方法 [P].

山口靖雄 .

中国专利 :CN101008655A ,2007-08-01

[10]

加速度传感器和加速度传感器的制造方法 [P].

山口靖雄 .

中国专利 :CN100533152C ,2007-08-08

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