掩膜板、蒸镀装置及掩膜板对位方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910024142.4

申请日：

2019-01-10

公开(公告)号：

CN109609911A

公开(公告)日：

2019-04-12

发明(设计)人：

欧凌涛李伟丽卓林海余强根甘帅燕王亚

申请人：

申请人地址：

065500 河北省廊坊市固安县新兴产业示范区

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1404 C23C1454

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

黄溪;刘芳

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/24 申请公布日:20190412
2019-05-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20190110
2019-04-12	公开	公开

共 50 条

[1]

蒸镀掩膜板对位系统 [P].

敖伟 ;

邱勇 ;

陈红 ;

黄秀颀 ;

何麟 .

中国专利 :CN103160775B ,2013-06-19

[2]

掩膜板、掩膜组件及蒸镀装置 [P].

张新建 ;

刘丽国 ;

尹志 .

中国专利 :CN207775333U ,2018-08-28

[3]

掩膜板框架及蒸镀掩膜板组件 [P].

李伟丽 ;

邱岳 .

中国专利 :CN112226731A ,2021-01-15

[4]

掩膜板框架、掩膜板及蒸镀设备 [P].

吕守华 ;

黄俊杰 ;

李宝军 .

中国专利 :CN207828397U ,2018-09-07

[5]

蒸镀掩膜板 [P].

李锦雄 ;

朱永安 ;

周应平 ;

庞明 .

中国专利 :CN222349096U ,2025-01-14

[6]

蒸镀掩膜板 [P].

张健 .

中国专利 :CN104762590A ,2015-07-08

[7]

蒸镀掩膜板 [P].

侯炜轩 ;

李伟丽 .

中国专利 :CN206768207U ,2017-12-19

[8]

蒸镀掩膜板 [P].

魏志凌 ;

高小平 .

中国专利 :CN202534700U ,2012-11-14

[9]

蒸镀掩膜板 [P].

魏志凌 ;

高小平 .

中国专利 :CN103205696A ,2013-07-17

[10]

掩膜板、掩膜板的制备方法及蒸镀装置 [P].

宋平 ;

肖志慧 ;

单为健 ;

孙增标 ;

王亚玲 ;

李骄阳 .

中国专利 :CN111826608A ,2020-10-27

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