MIM电容器及其形成方法

被引：0

申请号：

CN202210723549.8

申请日：

2016-12-27

公开(公告)号：

CN115020385A

公开(公告)日：

2022-09-06

发明(设计)人：

林杏莲金海光蔡正原

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹

IPC主分类号：

H01L2364

IPC分类号：

H01L4902

代理机构：

北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409

代理人：

章社杲;李伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-06	公开	公开
2022-09-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/64 申请日:20161227

共 50 条

[1]

MIM电容器及其形成方法 [P].

林杏莲 ;

金海光 ;

蔡正原 .

中国专利 :CN106972012A ,2017-07-21

[2]

MIM电容器及其形成方法 [P].

林杏莲 ;

李正德 ;

朱瑞霖 ;

吴启明 ;

杜友伦 ;

喻中一 .

中国专利 :CN113889573A ,2022-01-04

[3]

MIM电容器及其形成方法 [P].

杨庆荣 ;

黄章斌 ;

杜贤明 ;

蔡豪益 ;

李明机 ;

梁世纬 ;

赖昱嘉 .

中国专利 :CN105990263A ,2016-10-05

[4]

MIM电容器之形成方法 [P].

郑贰善 .

中国专利 :CN100383898C ,2004-01-07

[5]

MIM电容器及其形成方法 [P].

王健鹏 .

中国专利 :CN102709270A ,2012-10-03

[6]

MIM电容器及其形成方法 [P].

盘永生 ;

李玉堂 .

中国专利 :CN119967821A ,2025-05-09

[7]

电容器及其形成方法 [P].

王乐 .

中国专利 :CN102034686A ,2011-04-27

[8]

MIM电容器的形成方法 [P].

赵波 .

中国专利 :CN103390542A ,2013-11-13

[9]

金属-绝缘体-金属(MIM)电容器和形成方法 [P].

谢静佩 ;

徐晨祐 ;

刘世昌 .

中国专利 :CN105826166B ,2016-08-03

[10]

MIM电容器及其制造方法 [P].

杨鸣鹤 ;

金子貴昭 ;

黄晓橹 .

中国专利 :CN109037445A ,2018-12-18

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