全自动硅片上下料机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920052116.4

申请日：

2009-03-06

公开(公告)号：

CN201663151U

公开(公告)日：

2010-12-01

发明(设计)人：

梁明刚

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市樟木头镇商旅之家办公楼17屋E11号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-12-01	授权	授权
2014-04-30	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101581752314 IPC(主分类):H01L 21/677 专利号:ZL2009200521164 申请日:20090306 授权公告日:20101201 终止日期:20130306

共 50 条

[1]

全自动硅片上下料机 [P].

吴洪坤 ;

孙晓波 ;

宁瑞 ;

李永生 ;

张瑾 .

中国专利 :CN201117644Y ,2008-09-17

[2]

在线式全自动硅片上下料机 [P].

孙晓波 ;

苗泽志 ;

胡文平 ;

梁丽娟 ;

牛进毅 ;

王莉 ;

苗俊芳 ;

李云峰 .

中国专利 :CN102244141A ,2011-11-16

[3]

一种全自动硅片上下料机 [P].

张永康 ;

刘东续 ;

张金林 ;

章灵军 .

中国专利 :CN201999522U ,2011-10-05

[4]

一种全自动硅片上下料机 [P].

徐竹林 .

中国专利 :CN201655771U ,2010-11-24

[5]

一种硅片全自动上下料机 [P].

顾徐锋 ;

戴秋喜 ;

潘加永 ;

刘光照 .

中国专利 :CN212062407U ,2020-12-01

[6]

硅片上下料机 [P].

闫善韵 .

中国专利 :CN213201489U ,2021-05-14

[7]

一种全自动上下料机 [P].

张俊峰 .

中国专利 :CN205906718U ,2017-01-25

[8]

一种全自动上下料机 [P].

李朋 ;

谢鹏飞 .

中国专利 :CN216037291U ,2022-03-15

[9]

全自动上下料机 [P].

李小根 ;

师利全 ;

胡争光 ;

罗东 ;

张炜 ;

贺天文 ;

刘强 .

中国专利 :CN212075635U ,2020-12-04

[10]

一种全自动管式PECVD上下料机 [P].

梁明刚 .

中国专利 :CN206532790U ,2017-09-29

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